2024-11-4 09:33:13
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整机
1、上海微电子
张江高科：通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
东方明珠：通过上海泰力产业投资管理有限公司间接持有约2%股权。
上海电气：母公司为上海微电子第一大股东。
2、长春光机所
奥普光电：中科院长光学所持股公司42.4%的股权，非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的国内第一套EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。
物镜系统
赛微电子：公司提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
光源
福晶科技：通过欧洲代理向ASML销售少量光学元件。
茂莱光学：公司为光刻机光学系统提供光学器件。
光学元件
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品。
腾景科技：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统。
炬光科技：公司为半导体光刻应用领域提供光场匀化器。
晶方科技：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。
京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力较强。
光学镜头
奥普光电：长春光机所旗下企业。
波长光电：公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。
麦克迪奥：国望光学和科益虹源（国内第一，世界第三，供货上海微电子）都是亦庄旗下公司。截止目前亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪。麦克奥迪主业光学镜头实锤供货光刻机。
结构零部件
富创精密：公司结构零部件多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备。
新莱应材：公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。
电科数字：为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。
锐新科技：公司的电子散热系统为间接供货应用于光刻机。
海立股份：为微电子装备集团系统级供应合作商。
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上微子供应商。
电科数字：子公司可供货光刻机控制器。
清洗设备
蓝英装备：公司精密清洗设备客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司。
国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单。
维修服务
东方嘉盛：公司提供光刻机寄售维修服务。
光掩膜版
路维光电：公司储备了150nm节点半导体掩膜版制造核心技术
清溢光电：合肥工厂新增光刻机等设备已投入生产。
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